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【2h】

Laser micro-structuring of fused silica subsequent to plasma-induced silicon suboxide generation and hydrogen implantation

机译：在等离子体诱导的低氧化硅生成和氢注入之后，熔融二氧化硅的激光微结构化

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Hoffmeister, J.; Gerhard, C.; Brückner, S.; Ihlemann, J.; Wieneke, S.; Viöl, W.;
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年度 2012
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1. Laser Processing of Silicon Suboxide for the Fabrication of Multilevel Fused Silica Diffractive Phase Elements [J] . Lukas Janos Richter, Clemens M. Beckmann, J?rg Meinertz, Journal of Laser Micro/Nanoengineering . 2018,第3期

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4. Nano- and micro-structuring of fused silica using time-delay adjustable double flash ns- laser radiation [C] . Pierre Lorenz, Xiongtao Zhao, Martin Ehrhardt, Laser-based micro- and nanoprocessing XII . 2018

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